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沙子如何演变成光伏硅?
日期:2023-09-18   [复制链接]
责任编辑:sy_chenglingyan 打印收藏评论(0)[订阅到邮箱]
第一步:弄些沙子

正如您可能已经猜到的那样,芯片制造商不会与JCB一起前往最近的海滩,也不会向本地建筑商的商人下达大宗订单。由于存在杂质,普通沙子和建筑业使用的沙子通常会染成红色,黄色或橙色。芯片制造商需要的是硅砂,通常可以通过采石获得硅砂。

硅砂也被称为二氧化硅,正如您毫无疑问地从名称中猜测的那样,它是硅和氧的混合物。为了获得硅,可通过将氧与碳混合并在电弧炉中将其加热到2,000摄氏度以上的温度来除去氧。在这些温度下,碳与氧发生反应,变成二氧化碳,并在炉膛底部留有纯硅炉子。然后用氧气对硅进行处理,以去除杂质,例如钙或铝,从而得到所谓的冶金级硅。纯度高达99%。

不幸的是,对于芯片制造商而言,这还远远不够满足微观微处理器的要求。因此,将冶金级硅进一步精炼,这一次是将其研磨成细粉,加入氯化氢,然后在流化床反应器中于300摄氏度下加热。这将产生一种称为三氯硅烷的液态硅化合物,并且还会产生氯化硅。不需要的元素,例如铁,铝,硼和磷。通过分馏将它们除去,并将三氯硅烷在1,000摄氏度的氢气中蒸发。电加热的超纯硅棒收集硅,其结果是电子级硅。其纯度:99.999999%。事实证明,这很容易。

步骤2:制作一些水晶

电子级硅仍然不是完美的,因为它具有多晶结构。这意味着它由许多小的硅晶体组成,这些晶体之间的连接处会遭受称为晶界的缺陷。这些边界会导致电子信号混乱,因此必须更改硅的结构。

这样做的过程称为切克劳斯基过程(Czochralski Process),它涉及在石英坩埚中以刚好超过1,414摄氏度的熔点熔化硅晶体。然后将一个微小的硅晶体浸入熔融的硅中,然后将其抽出。不断地以与坩埚旋转相反的方向旋转。这从坩埚中吸引了硅,形成了所谓的晶锭。晶棒是由单个硅晶体制成的棒,其大小取决于温度,自旋速率和从液体中拉出晶体的速率。典型的晶锭直径约为300mm。

步骤3:切割晶圆

现在将圆形硅棒切成薄片,然后将这些薄片切得尽可能薄,而又使其无法幸免于制造过程。用类似于鸡蛋切片机的装置切割棒,同时切割多个切片以产生0.775毫米厚的薄饼。钢丝不断移动并携带碳化硅浆,碳化硅浆与用于制造干湿砂纸的磨料相同。然后将晶片的锋利边缘弄平,以防止其碎裂。

下一步:研磨,使用研磨浆抛光晶片的表面,直到晶片平整到千分之二千毫米的公差为止。之后,用硝酸,氢氟酸和乙酸的混合物蚀刻晶片,以形成更平滑的表面。

步骤4:制作图案

现在将为超光滑的晶圆提供一个氧化层,该氧化层用于创建所需的电路特征。选择性地对特定区域执行此操作,并且可能涉及使用离子束,热气体和/或化学物质。

这种化学品曾经被称为“光致抗蚀剂”,它与用于制造胶卷的化学品大致相似。不幸的是,这不能很好地应对热气处理,因此需要对晶圆进行掩膜处理。这是通过施加图案化的氧化层来完成的,该层可以确保气体不会到达芯片设计人员想要保留的光致抗蚀剂位。

此过程最多可以包含六个步骤:

1)晶片在熔炉中加热到高温,当硅与氧反应时产生二氧化硅层

2)施加一层光刻胶,在真空中旋转晶圆,以确保覆盖均匀,然后烘烤干燥

3)通过晶片上的每个芯片或芯片簇一次,使晶片通过照相掩模或胶卷暴露于紫外光下。使用称为“步进器”的机器在每次曝光之间移动晶片

4)施加碱性溶液,溶解暴露在紫外线下的光刻胶部分。这些部分被冲走了

5)氢氟酸用于溶解已洗掉光致抗蚀剂的氧化层部分

6)施加溶剂以去除残留的光致抗蚀剂,从而留下所需电路特征形状的图案化氧化层

原标题: 沙子如何演变成光伏硅?
 
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来源:光伏制造
 
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